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分析各种元素的同位素并测量其质量及含量百分率的仪器。由离子源、分析器和收集器三部分组成。待分析的物质先在离子源中形成离子，当离子经过分析器时，在恒定的磁场或电场作用下，各同位素由于离子质量不同，各循不同路径到达收集器，形成一条条谱线，根据谱线的位置和强度，可求得各同位素的质量和含量百分率。质谱仪也可用作化学分析仪器。
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